锆靶产品详细参数:
锆靶产品详情:
锆靶材是一种应用于薄膜沉积过程中的材料,主要由锆(Zr)元素组成。铌是一种银灰色的、稀有的、质地较软且具有延展性的过渡金属,它的熔点为2468℃,密度为8.57g/cm3,蒸气压为0.0755帕(2741K)。它具有高熔点、良好的化学稳定性和优秀的耐腐蚀性能,这些特性使其成为制造半导体、光电器件和装饰性薄膜的理想选择。作为靶材,锆靶材能够在物理气相沉积(PVD)等过程中产生高纯度的锆蒸气,从而形成均匀、高质量的薄膜。
锆靶材制备工艺:
准备锆材料:准备高纯的锆原材料;
准备熔炉:在熔炉中放置锆材料,加入保护气体(通常是氩气);
熔炉升温:将熔炉加热至锆材料的熔点(约1852°C);
熔炉降温:待锆材料完全熔化后,降低熔炉温度,使锆材料逐渐凝固;
取出锆靶材:待熔炉冷却后,取出锆靶材,进行后续的加工和处理。
锆靶材应用:
锆靶材主要用于制备金属氧化物、金属和合金等薄膜,这些薄膜在半导体、光电子、化学及生命科学等领域中都有重要的应用。例如,在半导体领域,锆靶材可用于制备MOSFET器件中的栅电极和金属互连层;在光电子领域,锆靶材可用于制备电子束蒸发器中的阴极和光学涂层。
金属锆其他应用:
核工业:金属锆是核燃料棒的重要组成部分,可以提供优异的耐腐蚀性和机械强度,同时还可以作为核反应堆的燃料包壳材料。
化学工业:金属锆可以作为化学反应容器和管道材料,具有优秀的耐腐蚀性能和高温稳定性能,可以用于各种化学反应和处理。
航空航天工业:金属锆可以用于制造高温部件,如涡轮叶片、喷气发动机零件等,因为它具有高温强度和热膨胀系数小的特点。
医疗器械:金属锆可以用于制造人工关节、牙科种植体等,因为它具有良好的生物相容性和机械能。
电子工业:金属锆可以用作电子器件的封装材料和电极材料,因为它具有优异的导电性能和耐高温性能。
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