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金属靶材
钛靶材
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钛靶材

钛靶材产品详情:钛靶材是一种用于物理气相沉积(PVD)和磁控溅射(Magnetron Sputtering)的材料,其中PVD主要用于生产高级涂层,而Magnetron Sputtering主要用于制作半导体芯片和电子元器件。二、钛靶材的制备工艺原材料挑选...

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靶产品详细参数:

详细参数.png

钛靶材产品详情:

       钛靶材是一种用于物理气相沉积(PVD)和磁控溅射(Magnetron Sputtering)的材料,其中PVD主要用于生产高级涂层,而Magnetron Sputtering主要用于制作半导体芯片和电子元器件。

二、钛靶材的制备工艺

原材料挑选

       由于钛靶材主要用于镀膜工艺,选择99.99%纯度的钛块作为原材料是常见的。一个好的原料应该没有明显的外表缺陷如氧化、不纯物、裂痕等,确保原材料的质地均匀且纯度高。

熔炼

       在熔炼阶段,使用真空电弧熔炼炉将钛原料加热至超过1668摄氏度(钛的熔点),使原材料完全熔化。为了防止气体杂质混入,整个过程需要在高真空环境中进行。一些特定应用可能会要求在护气(如氩气)的环境中进行,来保护靶材不被氧化。

锻造

       在这个阶段,液态钛被倒入模具中冷却固化,然后使用液压机对其进行力量均匀的压制。在锻造过程中,因为必须保持一定的温度以保证材料的延展性,所以常常会有加热和保温的步骤。

粗加工

       在此阶段,靶材会首次被机械加工到适用的形状和大小。这可能包括数控车床或者数控铣床的使用,以精确切割和形状化靶材。

热处理

       多数情况下,靶材需要进行热处理,如固溶处理或退火,在800-1000°C的范围内处理数小时。这些处理的目的是改善材料微观结构,增强其强度和韧性。

表面精加工

       经过以上处理后,靶材需进行表面精加工,比如研磨和抛光。首先,大概用研磨纸进行大面积的研磨,然后逐渐降低研磨纸的粗度进行细研磨。

三、特点

      1.高压力:钛靶材具有高密度、高耐热性和高压力,能够在复杂的环境下保持其性能。

      2.化学稳定性:钛靶材具有良好的化学稳定性,使用寿命长。

      3.高成本:钛靶材具有高成本,但由于其优异的性能,在高技术领域得到广泛应用。

四、应用领域

      1.半导体领域:钛靶材是半导体芯片制造过程中重要的原材料之一,是制作晶体管、电路等元件的关键材料。

      2.工业领域:钛靶材可用于制作高档涂料、防腐蚀材料等,广泛应用于汽车、制造业等领域。

      3.医疗领域:钛靶材具有生物相容性和生物可吸收性等特点,可用于制作人工关节、牙科种植体等医疗器械。

      只要您提供详细的靶材信息,如纯度,尺寸,公差要求,及其他技术要求,我们将尽快为您提供报价,并提供快的交期。


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