随着靶材市场需求量不断增加，靶材的种类是越来越多，合金靶材、溅射靶材、陶瓷靶材等等，那么关于铜合金靶材的技术知识都有哪些?下面就让北京J9.COM的小编为大家分享一下铜靶材的技术知识。
1、尺寸的确定及公差范围
根据实际需要，铜靶材需要高精度的外观尺寸，按照客户要求提供一定规格及偏差的靶材。
2、纯度要求
纯度的要求主要依据客户的使用用途来确定，以满意客户需要为依据。
3、微观结构要求
①晶粒：靶材的晶粒度大小影响靶材的溅射性能。因而晶粒的大小主要根据客户的使用要求，通过一系列锻打热处理达到用户要求。
②晶向：根据铜靶材的组织结构特点，采用不同的成型办法，热处理工艺等按用户要求进行控制。
4、外观质量要求
靶材表面必须无造成使用上不良的因素，根据客户要求，保证溅射过程的质量。
5、焊接结合率要求
铜靶材在溅射前与其他材料焊接在一起，则焊接后必须经过超声波检验，保证两者的不结合区域≥95%，满意大功率溅射的要求而不至于脱落。关于一体型则不需要进行超声波检测。
6、内部质量要求
鉴于靶材的使用条件，靶材内部需无气孔、夹杂物等缺陷。 结合实际需要与客户协商确定。
对靶材进行全面的清洗，确保靶材外表无玷污和颗粒附加物附着后，直接进行真空包装，根据客户的要求。
