钨靶材,即纯钨靶材,由纯度大于99.95%的钨资料制成,具有银白色金属光泽。它是以纯钨粉为质料,又称钨溅射靶材。它具有熔点高、弹性好、低膨胀系数、好热稳定性等长处,广泛应用于薄膜资料半导体集成电路、X射线管、医疗和锻炼设备、稀土锻炼航空等范畴。现在北京J9.COM的小编就和大家一起分享一下什么是钨靶材?
为什么挑选纯钨作为靶材质料?由于钨靶材具有以下长处:
1.高纯度、烧结和铸造钨靶的密度可达99.95%乃至更高;
2.快速成形、粉末冶金和直接压制;
3.密度高,铸造后钨靶材密度可达19.1g/cm3以上;
4.粉末冶金法的广泛应用使得钨靶的成本低于其他靶材的成本,如钛;
5.成分和结构均匀,提高了钨靶的偏转力;
6.粒度细,晶粒均匀等轴,浓度高,涂层产品质量较高。
跟着微电子职业新技术、新资料,特别是新器材、新资料的迅速发展,溅射靶材的市场规模日益扩展。靶材已逐步发展成为专业化职业,世界靶材市场将进一步扩展。