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溅射靶材应用于哪些领域

时间:2022-04-19 作者:北京J9.COM 点击:817次

  大家都知道溅射靶材的规格有许多,而且使用领域也很广泛,不同行业常用的靶材品种也有所不同,今天咱们就来和北京J9.COM的小编一起学习一下溅射靶材行业分类的相关知识介绍!

靶材,溅射靶材,溅射靶材应用领域

  一、溅射靶材的定义

  溅射是制备薄膜材料的主要技术之一,它利用离子源产生的离子,在真空中经过加速聚集,而形成高速度能的离子束流,轰击固体表面,离子和固体表面原子发生动能交换,使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面,被轰击的固体是制备溅射法沉积薄膜的原材料,称为溅射靶材。

  二、溅射靶材应用领域分类

  1、半导体用靶材

  (1)常用靶材:该领域常用的靶材包含钽/铜/钛/铝/金/镍等高熔点金属。

  (2)用处:主要用于集成电路的要害原资料。

  (3)功能要求:关于纯度、尺寸、集成度等的技能要求较高。

  2、平面显示器用靶材

  (1)常用靶材:该领域常用的靶材有铝/铜/钼/镍/铌/硅/铬等。

  (2)用处:这类靶材多用于电视、笔记本的各型大面积膜层。

  (3)功能要求:关于纯度、大面积、均匀性等要求较高。

  3、太阳能电池用靶材

  (1)常用靶材:太阳能电池常用铝/铜/钼/铬/ITO/Ta等靶材。

  (2)用处:首要用于“窗口层”、阻挡层、电极与导电膜等场合。

  (3)功能要求:技能要求高,使用范围比较广。

  4、信息存储用靶材

  (1)常用靶材:信息存储常用钴/镍/铁合金/铬/碲/硒等材料的靶材。

  (2)用处:这儿的靶材主要用于光驱与光盘的磁头、中间层、底层。

  (3)功能要求:关于高储存密度、高传输速度的要求较高。

  5、工具改性用靶材

  (1)常用靶材:工具改性常用钛/锆/格/铬铝合金等靶材。

  (2)用处:通常做外表强化用。

  (3)功能要求:功能要求较高,使用寿命长。

  6、电子器件用靶材

  (1)常用靶材:电子器件常用铝合金/硅化物靶材

  (2)用处:一般用于薄膜电阻与电容。

  (3)功能要求:尺寸小、稳定性、电阻温度系数小。