众所同知,真空镀膜中常用的办法有真空蒸腾和商子溅射,那么,蒸腾镀膜和溅射镀膜有什么区别?不少新手朋友有这样的疑问。
真空蒸腾膜是在真空度不低于10-2Pa的环境中,用电阻加热或电子束和激光炮击等办法把要蒸腾的资料加热到定温度,使资料中分子或原子的热振动能量超越外表的束缚能,从而使大量分子或原子蒸腾或提高,并直接沉积在基片上形成薄膜。离子泥射镀膜是使用气体放电产生的正离子在电场的效果下的高谏运动炮击作为阴的靶,使靶材中的原子或分子逸出来而沉积到被镀工件的外表,形成所需求的薄膜。
真空蒸腾镀膜常用的是电胆加热法,其长处是加热源的结构简单,造价低廉,操作方便缺陷是不适用于难焰金属和耐高温的介质资料。电子束加热和激光加热则能克服电阻加热的缺陷。
电子束加热上使用聚集电子束直接对被炮击资料加热,电子束的动能变成热能,使资料蒸腾。激光加热是使用大功率的激光作为加热源,但由于大功率激光器的造价很高,目前只能在少量研究性实验室中使用。
溅射技能与真空蒸腾技能有所不同。“溅射”是指荷能粒子炮击回体外表(靶),使固体原子或分子从外表射出的现象。射出的粒子大多呈原子状态,常称为流射原子。用于炮击靶的溅射粒子可所以电子,商子或中性粒子,因为离子在电场下易于加快取得所需求动能,因此大都选用离子作为炮击粒子。溅射进程建立在辉光放电的基础上,即溅射离子都来源于气体放电。
不同的溅射技能所选用的辉光放电方式有所不同。直流二溅射使用的是直流辉光放电三溅射是使用热阴支持的辉光放电射频溅射是使用射频辉光放电;磁控溅射是使用环状磁场控制下的辉光放电。
溅射镀膜与真空蒸腾镀膜比较,有许多长处。如任何物质均能够溅射,尤其是高熔点,低蒸气压的元素和化合物;溅射膜与基板之问的附着性好;薄膜密度高;膜厚可控制和重复性好等。缺陷是设备比较复杂,需求高压设备。
此外,将蒸腾法与溅射法相结合,即为离子镀,这种办法的长处是得到的膜与基板间有强的附着力,有较高的沉积速率,膜的密度高。
